隨著干式真空泵的應(yīng)用越來(lái)越多，不合理的操作會(huì)影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量和維護(hù)成本，某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)會(huì)嚴(yán)重惡化真空泵中的介質(zhì)，使泵無(wú)法正常工作。因此，選擇合適的設(shè)備非常重要。

　　1.雙葉型。它的設(shè)計(jì)非常類似于流行和廣泛使用的羅茨泵。事實(shí)上，一些干式泵的早期設(shè)計(jì)理念是堆疊羅茨泵。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通道非常復(fù)雜，每個(gè)通道都需要大量氮?dú)鈦?lái)稀釋和隔離作用。同時(shí)，為了達(dá)到良好的真空度，對(duì)各級(jí)間隙有非常嚴(yán)格的要求。
　　2.內(nèi)部壓縮螺釘類型。除了使用一對(duì)非等距螺釘之外，內(nèi)壓縮螺釘設(shè)計(jì)和外壓縮螺釘設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺釘之間的體積減小導(dǎo)致螺釘內(nèi)部壓縮。由于內(nèi)部壓縮，這種設(shè)計(jì)將其功耗降低到與多級(jí)泵相同的水平
　　3.組合設(shè)計(jì)采用羅茨泵在較低壓力下提高泵送效率，采用爪式泵在較高壓力下提高泵送效率。它的基本原理和氣體通道與上述圓形凸角設(shè)計(jì)完全相同。在許多過(guò)程中，組合設(shè)計(jì)的每一層都需要大量的氮?dú)鈦?lái)稀釋和隔離作用。
　　4.外部壓縮螺釘類型。使用一對(duì)等距螺釘。這使得內(nèi)部壓縮更小，并且使得氣體通道更短和更簡(jiǎn)單。這樣，氣體在干式真空泵中停留很短時(shí)間。盡管由于內(nèi)部壓縮比的降低，這種設(shè)計(jì)的功耗相對(duì)較高，但它在許多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中顯示出高穩(wěn)定性。這種單級(jí)設(shè)計(jì)使得氮?dú)庀牡囊蠓浅Ｐ『秃?jiǎn)單，這使得它在不同的工藝中具有良好的互換性。在許多清潔過(guò)程中，甚至可能不使用氮?dú)狻?br /> 　　通過(guò)以上對(duì)這些設(shè)備的詳細(xì)介紹，要先確定所購(gòu)設(shè)備的類型和型號(hào)，并選擇合適的設(shè)備。具體內(nèi)容可以咨詢我們的廠家。